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发布日期:2015-04-15 09:14 浏览次数:

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①SiC+2O2→SiO2+CO2 ②SiC+4H2O=SiO2+4H2+CO2
致使元件中SiO2含量逐渐增多,电阻随之缓慢增加,为之老化。如水蒸气过多,会促进SiC氧化,由②式反应产生的H2与空气中的O2结合H2O再反应产生恶性循环。降低元件寿命。氢气(H2)能使元件机械强度降低。氮气(N2)在1200℃以下能防止SiC氧化1350℃以上与SiC发生反应,使SiC分解氯气(Cl2)能使Sic完全分解
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